二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409127 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一種蝕刻器和asher設備，用於許多行業和設施。該系統用於薄膜器件、薄膜層和其他晶圓相關材料的生產和蝕刻。其特點是精確度高、功耗低、廢舊生產少。它非常適合用於半導體、微機械加工、光掩模和其他需要在高溫下蝕刻或粉刷薄膜的薄膜沈積工藝。蝕刻/灰化過程始於將薄膜放置在TEL SCCM Shin蝕刻器/灰化器單元中。這臺機器由一個反應堆室組成，該反應堆室配有氣體入口、出口和內部氣體裝置，用於控制室內的氣體和溫度。薄膜然後在400至500攝氏度的溫度下接觸氧氣、氮氣和其他氣體的混合物。然後將能量提供給工具的反應室，同時使用X射線源選擇性地蝕刻薄膜層。蝕刻和灰化工藝控制極為嚴密，底物損傷最小，薄膜變薄。薄膜層厚度可達15-20mm，但也可以用TOKYO ELECTRON SCCM Shin蝕刻更薄的層。此外，這項資產可以蝕刻多種拓撲，如均勻層蝕刻、階梯層蝕刻或多層蝕刻。該型號有手動和自動兩種晶圓支持。手動晶片支持允許用戶在蝕刻設備中手動放置薄膜。另一方面，自動晶片支持允許控制計算機自動將薄膜送入蝕刻機中。此外，系統還配備了超溫防護、超壓防護、碳監測等多種安全功能。此外,該單元還具有各種操作功能,如自動配方模式、用戶界面和流程日誌。SCCM Shin Etcher/Asher以其高精度、低功耗、低浪費的生產，是薄膜精密蝕刻和灰化的完美機器。