二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9206140 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE是為半導體制造而設計的單晶片蝕刻器/asher設備。該系統為MEMS、多晶圓制造、MEMS/MMIC/復合半導體器件制造的高級蝕刻/灰化工藝提供了單一的來源。它具有優異的工藝控制和均勻的蝕刻效果以及均勻的介電保形塗層.該單元具有自動過程控制、原位閉環監控和模式發生器順序控制等功能，可提高晶圓吞吐量。TEL SCCM TE具有優異的等離子體處理性能,包括ICP SiO₂蝕刻、HCl蝕刻、O₂/Ar反應物氣體和化學機械晶片拋光（CMP）功能。該機精密且可重復，並配有高分辨率開關距離（HRSD）和平面化工具等用於規劃和蝕刻控制、晶圓旋轉資產、先進的前向和反向射頻功率傳遞以及改進等離子體尖峰保護的實時儲罐壓力控制等先進工具。此外，該模型還包括一個噴霧加熱裝置和一個創新的自清潔設備，以幫助減少汙染對地表地形的影響。TOKYO ELECTRON SCCM-TE配備了原位法拉第防護罩，使系統能夠處理TEL自己的抗蝕劑載荷晶片系列，實現跨各種蝕刻/ashing步驟的多過程集成。該單元還提供各種可定制的加工參數，如蝕刻參數、對準精度、介電蝕刻回、基板圖樣和工藝配方，以實現高性能、高產量的生產。此外,SCCM-TE還提供高級自動化功能,如多配方管理、基於PC的儀表控制、晶圓跟蹤、GDS/GDSII數據管理和質量控制監視器。該機專為全天候操作而設計，提供卓越的速度和可靠性。集成的自我診斷、遠程連接和易於維護的功能使該工具成為流程密集型應用程序的理想選擇。該資產的創新工程與最高級別的材料相結合,在苛刻的條件下提供可靠的性能。采用真空密封焊接室、高純度氣體系統等先進部件，保證了卓越的重復性和長期穩定性。TEL SCCM-TE為研究和生產半導體應用提供了最高水平的性能和易用性。