二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9235809 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE是專為高精度、高通量晶圓製造需求而設計的先進蝕刻器/asher。該工具具有多種功能,可確保精確的處理過程-例如,其平衡機制可防止晶片在蝕刻室中移動、振動或以其他方式損壞。此外,機器的電源控制設備可保護晶片不會過度蝕刻。TEL SCCM TE配備了先進的氣體輸送和控制模塊，能夠進行多氣體控制。蝕刻器通過控制供氣量，在底物腔內保持獨特的化學環境，從而能夠精確進行蝕刻。而且，其快速作用、大功率的單晶片蝕刻源使蝕刻器能夠在短時間內精確蝕刻結構。使用兩步蝕刻可以最小化所需的加工時間。蝕刻器帶有全自動加載臂，確保晶圓的準確穩定的加載/卸載。它還具有自動晶圓清洗系統、精確的溫度控制單元、靜態消除機等多種有效機制。安裝了紅外照相機以檢測微妙的晶片和基板問題,確保晶片正確加載到設備上並正確執行蝕刻過程。TOKYO ELECTRON SCCM-TE還包括各種故障預防和保護機制。這些措施包括防雷工具、警報資產、多種安全設備和鉑金編碼器，可實現精確定位。它還具有能夠檢測、警報和控制火災的防火模型。TEL/TOKYO ELECTRON SCCM-TE是一款創新的蝕刻器/asher，專為高容量、高精度晶圓加工而設計。其先進的技術確保了準確性、可重復性和安全高效的蝕刻工藝。它具有多項確保完美蝕刻環境的功能，如動力控制設備、先進的氣體輸送和控制模塊、全自動裝載臂以及各種故障預防和保護機制。