二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9398277 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE是一款功能齊全的蝕刻器（又稱asher），專為滿足半導體行業的嚴格標準而設計。作為TEL/TOKYO ELECTRON半導體工藝設備陣容的一部分，它是精密微芯片蝕刻的理想工具，提供操作靈活性、準確性和吞吐量。與其他TEL設備一樣,它可以持續運行並提供一致的結果,而且維護最少。TEL SCCM TE具有多種高級功能。它配備了強大的885MHz（側壁）射頻發生器，可以提供從100 kHz到22GHz的廣泛頻率。為了實現精確蝕刻,該單元采用了可選的高性能、高精度負載匹配網絡（LMN）,以實現與基板的精確阻抗匹配,從而獲得最大的功率傳遞效率。LMN還允許寬範圍的主動工作頻率和源匹配，幾乎沒有失真。此外，TOKYO ELECTRON SCCM-TE擁有一個4通道的slidecabinet轉盤，允許在管理多種底物的各種蝕刻配置時具有意想不到的多功能性。變速反應球電動機在加速或減速時提供平滑、低振動的標線旋轉和精確的運動。該設備還具有符合人體工程學的設計，具有可調操作控制臺、觸摸屏界面和寬敞的分辨率表。SCCM TE還包括一個內置垂直傳輸系統（VTS），該系統消除了標線懸掛和堆叠，從而提高了生產率和吞吐量。VTS還允許基板上下、左右四向旋轉。此外，該解決方案還配備了一個可選的MEMS卡盤、線路加熱器和OES（光學發射系統）傳感器，用於精確感測蝕刻參數，如溫度和基板輪廓。此外,TOKYO ELECTRON SCCM TE還配備了軟件,通過預測蝕刻的終點、通過CCD傳感器監控運動以及顯示過程歷史來加快蝕刻過程。它直觀、用戶友好的控制和操作靈活性提供了很大程度的生產定制。因此，它可以用來更有效、更準確地完成工作，提高整體生產力。TEL SCCM-TE在半導體行業中被高度評價，以可靠的結果、速度和準確性而聞名。因此，它是蝕刻細膩元件和半導體芯片的絕佳選擇。其先進的特性和能力使其成為需要進行精確蝕刻或基材特定操作的公司的一大資產。