二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM #293776178 待售

ID: 293776178
晶圓大小: 8"
Oxide etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM是一種蝕刻器/asher,用於從矽片生產集成電路。該設備是一種高度可靠和用戶友好的工具,旨在以高精度和高精度在矽晶片上蝕刻或粉刷電路。設備由四個主要部件組成:主控制單元、加熱設備、氣體輸送系統和光學單元。控制單元負責控制整個機器,包括電動機、閥門和傳感器,用於協調蝕刻器/asher的其他組件。TEL SCCM的加熱工具負責提供一個受控的溫度環境,以便於在整個過程中均勻蝕刻。這是使用置於晶圓上方的紅外燈或微波發射器完成的。熱能釋放出低而均勻的熱量強度,創造出最佳的蝕刻環境。氣體輸送資產負責向蝕刻室供應必要的反應物。這包括O2、CF4和O3等氣體。這些氣體儲存在儲罐容器中,然後以恒定流量引入蝕刻室。TOKYO ELECTRON SCCM的光學模型負責觀測蝕刻過程的進展和結果。它由光學顯微鏡、照相機和一系列光學傳感器組成。此設備允許用戶監視和調整蝕刻過程,以確保獲得最佳效果。總體而言,SCCM是一款可靠、用戶友好的蝕刻器/asher,能夠生產高質量的集成電路,精度和精確度都很高。設備的各個部件無縫配合工作,提供受控的最佳蝕刻環境。有了這種設備,集成電路制造商就可以放心地生產出高質量的產品。
還沒有評論