二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM #9192402 待售

ID: 9192402
晶圓大小: 12"
Chamber, 12" With turbo pump.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM是一種在半導體工業中使用的先進蝕刻/asher技術。TEL SCCM能夠在高速低溫的處理環境中進行高精度的蝕刻過程。這項技術被用於生產先進的電子器件和半導體芯片等半導體元件。TOKYO ELECTRON SCCM asher利用等離子體蝕刻工藝,以極高的精度創建電路。蝕刻是通過使用鹵化鎂氣體產生電離等離子體來完成的。然後將電信號施加到要蝕刻的基板表面,等離子體會對該信號作出反應,有選擇地分解基板中的材料並形成圖樣。這稱為反應性離子蝕刻(RIE)。SCCM蝕刻器經過精心設計,可與各種基板兼容,使用戶能夠生產多代芯片。TEL/TOKYO ELECTRON SCCM蝕刻器提供極高的速度性能和較低的工藝溫度,顯著降低了生產時間和成本。這一過程減少了蝕刻時間,同時產生了緊密/光滑/詳細的輪廓,對半導體材料的離子損傷最小。該工藝還有助於保持氧化物和鈍化層。TEL SCCM蝕刻器還包含原位光譜端點檢測系統等功能,實時監控蝕刻過程,檢測半導體中蝕刻層的存在。該系統允許用戶以極高的精度和信心準確確定精確的蝕刻點,使他們在設備制造中獲得最大的產量。TOKYO ELECTRON SCCM還包含一個先進的高分辨率晶圓顯微鏡,用戶可以查看蝕刻過程並確認蝕刻深度。總體而言,SCCM是一種功能強大且用途廣泛的蝕刻/asher技術,專為快速、詳細和精確的電路形成而設計。精確蝕刻到基板層的能力,加上其快速的蝕刻速度和較低的工藝溫度,真正使TEL/TOKYO ELECTRON SCCM成為半導體行業的革命性工具。
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