二手 TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9038420 待售
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ID: 9038420
SCCM Shin etchers, 12"
(4) Load ports
Type of carrier: Foup 25 Wafers
Process: Oxide Etch
Wafer type: 300mm V notch.
Wafer mapping: Yes
FFU(ULPA Filter): >99.9999% 0.12um
Process kit: Shin Kit
Chuck: Ceramic ESC
Generator: Daihan MGA50E , AGA 50B2
Slow & Fast pumping: Yes
Gasline piping type: ARDC
MFC: Unit 8561
MFC Type: Anlog/Digital MFC
MFC control mode: Analog control
Chiller: FST HC308136
Power Line 1:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 140 A
Ampere rating of largest load: 120 A
Power Line 2:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 130 A
Ampere rating of largest load: 110 A
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS Etcher/Asher是一款高性能蝕刻/灰燼工藝工具,提供卓越的精確度和高級工藝能力。該設備用於生產半導體制造和OLED顯示器等工藝中的薄膜和其他材料。TEL T-3055SS是一個全自動蝕刻/灰燼工藝平臺,它提供出色的定制選項和對蝕刻/灰燼工藝的精確控制。根據材料和工藝參數,該機器可提供高達9秒的快速、高精度蝕刻/灰分循環時間。TOKYO ELECTRON T-3055SS配備了獨特的蝕刻和灰化電極系統，確保了比傳統蝕刻和灰化技術更高的準確率。電極與兩個內部加熱器和一個可調節的噴嘴單元協同工作，該單元能夠在蝕刻和灰化過程中保持恒定溫度。這樣可以對薄膜和其他材料進行高效、精確的蝕刻/灰分工藝控制。該機還配備了可自動調整蝕刻/灰燼工藝參數的集成視覺機。T-3055SS的設計使其易於執行各種過程。直觀的圖形用戶界面使用戶能夠快速設置、監控和控制蝕刻/灰燼過程,且費力極小。該機器還具有可選的負載鎖定功能,可自動執行示例加載和卸載。這允許同時進行多個進程。TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS是用於大批量生產的可靠蝕刻/灰分工具。它具有廣泛的流程和選項包,可以根據任何特定需求進行定制。集成的流程監控資產記錄所有程序、流程和設備數據,為用戶提供更長期的分析和流程優化。此外,TEL T-3055SS具有安全可靠的操作模型,可確保穩定的性能並提供高度的安全性和可靠性。總體而言，TOKYO ELECTRON T-3055SS對於希望最大限度地提高蝕刻/灰燼工藝精度和效率的公司來說是一個絕佳的選擇。它提供出色的自動化和定制功能,同時還提供用戶友好的界面和可靠的性能。
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