二手 TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9211146 待售

TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS是一種全自動蝕刻器和asher,能夠處理中等復雜的過程。作為一種反應性離子蝕刻和灰化設備，TEL T-3055SS提供了一個完整的蝕刻和灰化溶液。除了蝕刻和灰化，該系統還可以作為薄膜工藝的沈積機。TOKYO ELECTRON T-3055SS專為需要精確和準確結果的生產和工藝應用而設計。它具有較高的吞吐量和較快的周期時間，每次運行最多可加載25個晶圓。該單元同時使用射頻和直流混合能源進行蝕刻，並使用高溫退火階段進行灰化。它還包括用於精確控制工藝參數的可變質量流激活機。利用先進的軟件和硬件組件,T-3055SS為反應性離子蝕刻和灰化提供了可靠的操作.電腦控制的工具有一個用戶友好的界面，配有圖形顯示快速進入和直接操作。它還提供了廣泛的診斷工具,以幫助排除故障和微調流程。TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS利用一系列安全功能保護用戶並防止設備損壞。它使用安全聯鎖來保護人員和設備，並且是為了滿足最新關於射頻和直流設備運行的規定的安全要求而設計的。該資產包括在線和離線現場診斷功能,以實現完整的流程控制。TEL T-3055SS提供了廣泛的流程控制功能,允許用戶控制不同設備類型的所有流程參數。它具有靈活的調度功能,因此用戶可以輕松地為不同的蝕刻和ashing任務編程多個參數。它還包括一個自動晶圓傳輸模型，允許用戶在沒有任何額外設備的情況下將多個晶圓從一個腔室移動到另一個腔室。TOKYO ELECTRON T-3055SS是一種可靠、精密的蝕刻器和asher設備.其用戶友好的界面和廣泛的過程控制功能使其非常適合半導體行業的廣泛應用。憑借其廣泛的安全特性和廣泛的診斷,T-3055SS提供了可靠和準確的結果。