二手 TEL / TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW #293587739 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW是由TEL Limited開發的半自動晶圓蝕刻器/asher。該設備的設計可實現高通量和可重復的蝕刻和灰化所有類型的電子元件在一次最多四個8英寸（200毫米）直徑的晶片。該系統能夠處理廣泛的材料，如貴金屬、矽、石英和其他高k電介質。TEL TAC-3WWZZWW的特點包括自動控制溫度、低氣體消耗率以及獨特的光纖照明,確保整個腔室的蝕刻和灰燼過程均勻性。TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW的蝕刻器/asher腔室由不銹鋼構成，呈圓柱形，無底層坩堝。它還具有質量流控制器和熱電偶，用於控制室內溫度。此外，它還配備了兩個自動閥門，一個用於裝卸晶片，一個用於氣體引入。腔室還具有壓力控制功能，使操作員能夠精確調整過程壓力。此外，該單元設計為能夠在任何方向工作，允許精確的蝕刻和灰燼過程以最小的工藝變化進行。TAC-3WWZZWW還包括防止意外氣體泄漏的安全聯鎖裝置。該工具由金屬盒、壓力開關和泄漏檢測器組成。它旨在在壓力下降時立即關閉資產。它還包括一個內置的排氣模型，在泄漏的情況下過濾掉任何危險氣體。TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW擁有多項先進技術，可實現高效和可重復的晶圓蝕刻和灰化工藝。它包括數字微控制器接口（DMIF），一種先進的傳感器技術，使操作員能夠準確監測腔內的溫度和工藝條件。該設備還具有一套強大的功能，如自動密封晶片支架、實時腔室溫度監測、基於配方的編程，以及高達四個可編程預熱溫度。TEL TAC-3WWZZWW是對各種電子元件進行蝕刻和灰化的理想工具。它旨在提供易於使用的可重復和可靠的過程。它的自動控制功能使操作員能夠快速準確地進行制造過程，而無需大量的手動輸入。該系統也非常適合半導體加工實驗室，這些實驗室需要高通量和最高精度的蝕刻和灰化過程。