二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras BX JIN #293773387 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras BX JIN是一種高性能、緊湊的蝕刻（或ashing）設備，使半導體器件制造中使用的蝕刻和灰化工藝成為可能。它旨在提供可靠的工藝一致性和可重復性，同時增強安全性和利用蝕刻和灰化技術的最新進展。BX JIN 蝕刻器/Asher利用先進的蝕刻室設計,提高了工藝的均勻性和可重復性,減少了尺寸,改進了窄蝕刻結構。該系統還在射頻蝕刻發動機中采用高速掃描和高溫偏置，以提高FEOL操作的通過率。TEL Tactras BX JIN還配備了精密的過程控制技術和各種過程控制系統，包括離子輔助過程控制（IPC）、基於FEOL的過程控制單元（FPCS）和特定於過程的微調系統，使用戶能夠準確、精確地控制蝕刻/ashing過程。它還具有自動化的工藝匹配系統，以提高準確性和可重復性，以及水基冷卻機以更快、更安全的方式進行蝕刻。此外，TOKYO ELECTRON Tactras BX JIN提供了極大的靈活性，每種應用都可以存儲一系列的工藝配方，並且可以對蝕刻/ashing配方進行微調，以滿足特定的要求。最後,此工具提供遠程連接,使用戶能夠監控和調整蝕刻/灰化參數,從而以最小的交互作用提高流程準確性。這些功能相結合,使Tactras BX JIN成為當今最強大、最可靠的蝕刻器/asher系統之一。它是半導體行業蝕刻/灰分操作的理想選擇，提供可靠、可重復和均勻的工藝結果，具有最高的安全性和效率。