二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras RLSA Poly #293813001 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras RLSA Poly是一款高度先進的蝕刻器，設計用於從GaAs底物中蝕刻多晶矽、聚SiGe和SiGe層。這種八生物，自對齊的蝕刻器由TEL開發。TEL Tactras RLSA Poly在蝕刻方面提供高精度和精確度，使其成為半導體工藝研發中廣受追捧的蝕刻器。TOKYO ELECTRON Tactras RLSA Poly獨特的架構允許以無與倫比的精度和均勻性蝕刻復雜基板。這種蝕刻器基於反應性離子蝕刻（RIE）工藝，利用各種氣體的組合，如氧氣、自由基和氟化合物來產生蝕刻效果。然而，RLSA Poly已經開發出來，能夠在提高均勻性和選擇性、低表面排泄率的情況下實現優化的蝕刻結果。Tactras RLSA Poly具有多生物布局,在蝕刻設計方面具有靈活性。最多可以將八種不同的生物納入蝕刻過程。多生物布局允許組合各種蝕刻過程，允許同時合並減法和加法蝕刻過程。這在復雜形狀需要蝕刻到基材上時特別有用。RLSA Poly還具有對電池溫度、壓力水平和氣流等參數的精確監控功能,有助於提高其準確性和可重復性。蝕刻器還配備了實時監測系統，能夠監測移動樣本數據，如電位和距離，這有助於控制蝕刻均勻性。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras RLSA Poly是一款用途極為廣泛的蝕刻器，使其適合廣泛的應用。它適合SiO2、SiN、Si3N4、光致抗蝕劑以及來自GaAs基板的多晶矽、poly-SiGe、SiGe層等材料，用於半導體工藝。RLSA Poly提供的高精度、均勻性和多功能性相結合,使其成為當今市場上最好的蝕刻機之一。