二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras SCCM #9290523 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM（超級化學控制機）是一種蝕刻器/asher，用於為各種金屬化應用提供深度蝕刻、精細圖案和輪廓控制。它是一種半導體工藝工具，旨在提供卓越的基板水平平面化，對基板的損害最小。TEL Tactras SCCM的設計緊湊,可提供最大的流程能力和改進的控制管理能力。它具有直觀的用戶界面,易於操作,可通過自動處理和監控提高吞吐量。蝕刻器/asher有三個自動平面化階段，包括濕蝕刻階段、拋光階段和基板平面化階段。TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM還提供了一個「雙蝕刻」功能，以控制蝕刻深度，以及輪廓類型，其先進的油層。Tactras SCCM配備了先進的控制系統，該系統融合了來自單個控制模塊的自動蝕刻、耗盡和濺射等功能。該控制模塊確保了蝕刻器/灰化器的同步操作，可用於提高蝕刻過程的準確性和一致性。TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM還配備了觸摸屏控制單元，以實現更大的易用性，並且可以連接到一系列系統進行監控。它還提供遠程監視功能,允許從遠程位置監視和控制設備。TEL Tactras SCCM 蝕刻器/asher還具有各種濺射能力，包括薄膜、化學型濺射、氧化型濺射和反向離子萃取。內置電子束蒸發器允許快速、高效、均勻的薄膜沈積。此外，觸覺感應器和操縱器可以精確控制底物的位置和速度。TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM是一款多合一蝕刻器/asher，非常適合高容量生產和工藝優化。它提供精密蝕刻/濺射/耗盡操作,以及全方位的自動化功能。高效、用戶友好的設計可確保以優異的效果提高生產效率。