二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3 #293603576 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3是一種可靠、高效、精確的等離子體蝕刻器/asher，用於廣泛的應用。TEL Tactras Vesta NV3采用「等離子體增強蝕刻」技術運作，該技術使用高溫、高電場和高能離子。這種蝕刻方法可以在精確的圖樣上進行精確蝕刻,以及廣泛的深度蝕刻/灰化。TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3的界面是人性化的，允許精確和容易控制蝕刻參數。它還包括一個直觀的圖形用戶界面,它減少了生產周期時間並提高了生產率。蝕刻器/asher支持多種基材尺寸,從200 mm到300 mm不等,使其用途廣泛,非常適合各種半導體生產工藝。該NV3還設有一個先進的熔爐模塊，有助於減少不均勻的加熱和幫助均勻蝕刻。此外，它還具有一個泵系統，該系統減少了氣體消耗，降低了與蝕刻工藝相關的成本。該NV3配備了SEGARD（超級蝕刻氣體分析數據記錄），可以準確記錄蝕刻表面上的氣體分布。這有助於提高蝕刻圖樣的準確性，並確保蝕刻過程的均勻性。NV3提供的一些功能包括自動基板溫度控制、自動出口溫度控制和自動溝槽形成。這些特性很重要，因為它們有助於保持基板溫度恒定，並有助於提高工藝的均勻性。該NV3還能夠同時蝕刻多達10個晶圓，大大提高生產率和吞吐量。總之，TactrasVesta NV3等離子體蝕刻器/asher是一種高精度、可靠的蝕刻器/asher，用於各種生產工藝。這樣的特性可以在各種基材尺寸上實現均勻的蝕刻、更快的吞吐量和出色的均勻性。