二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3 #293634269 待售
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ID: 293634269
晶圓大小: 12"
Polysilicon etcher, 12"
(2) AC Distribution boxes
Loader module
(3) Load ports
Vaccum transfer module:
Transfer module
(2) Loadlock modules
(4) Process modules:
(3) HF RF Power supplies
(4) Gas boxes
(3) RF Generators
(3) TMP Controllers.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3是一種最先進的蝕刻器/asher,設計用於各種微結構中的圖樣轉移和材料去除。是先進半導體加工和集成電路生產的高效工具。它有一個大的加工室,工作面積約為300毫米,能夠在整個加工區域提供高的蝕刻選擇性和極好的均勻性,而不會在制造質量上有任何明顯的下降。TEL Tactras Vesta NV3憑借其高性能的等離子體源和氣體輸送系統,為精密蝕刻和灰化設定了業界領先的標準。通過控制反應性氣體的組成和電離以實現最佳蝕刻速率並保持粒子懸浮的靜電約束系統,提高了其性能。它還具有獨特的源代碼設計,具有一系列用於增加電離功率和提高蝕刻選擇性的轉彎。除了性能外,TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3憑借創新的人性化功能,在競爭中脫穎而出。其人體工程學控制面板提供了簡單、直觀的蝕刻和灰化工藝參數編程。它具有直觀的圖形用戶界面,允許用戶直接可視化流程狀態,從而使流程優化更加容易。此外,它的數字控制器提供更精確的控制和更可靠的過程操作。在成本效益方面,Tactras Vesta NV3是一個非常實惠的蝕刻師/asher。由於其高可靠性和快速維護,它的擁有成本也很低。這進一步得益於其在運行過程中的低功耗以及與其他系統的高效通信鏈接,從而使用戶能夠快速檢索有關流程的最新信息。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3是先進半導體加工和集成電路生產的絕佳選擇,因為它結合了性能、用戶友好性和低成本。憑借其在整個工作區域內出色的蝕刻、灰度和均勻性,它一定能滿足業界最苛刻的需求。
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