二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta #9221865 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta是一款為半導體器件制造而設計的蝕刻/asher設備。該系統由工藝室、真空室和控制器單元組成。該工藝室包含多層生產容器，其中反應性氣體被冷卻和循環。然後通過向基板上供應氣體來實現蝕刻/灰化過程。蝕刻/灰化的過程是使用高頻等離子體完成的，由幾個射頻發生器產生，並從所有四個側面應用於基板。該單元被設計成一個單晶片反應性離子蝕刻器（RIE），這使得它成為一個適合精密蝕刻過程的工具，亞微米精度。它也是一種基於真空的機器，允許用戶在預處理條件下實現適度數量的加工步驟，同時保持基板的質量。與工藝室相連的真空室致力於減少工藝配方之間因環境氣體汙染而產生的蝕刻速率波動。此外，該工具還附帶了TEL Tactras Vesta控制器單元，它提供了一個用戶友好的界面，允許用戶輕松配置和存儲不同的蝕刻和灰分配方。用戶可以根據自己的特定需求調整和存儲最多三個蝕刻食譜和最多三個灰度食譜。該資產還提供了增強的工藝穩定性，因為它利用了一種特殊的冷卻裝置，有助於保持真空室內的溫度，以及低壓噴射器。所有這些特性使得TOKYO ELECTRON Tactras Vesta成為了半導體制造工藝的絕佳蝕刻/asher工具。它是一個用戶友好的模型，具有許多功能，使其成為微觀制造過程的理想選擇。設備提供了更好的基板吞吐量和更好的蝕刻均勻性，有助於最大限度地提高產量，降低成本，提高集成電路的質量。