二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta #9225714 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta是一款高級蝕刻/灰化設備，設計用於各種高級工藝。其超精細幹蝕刻功能可提供最高分辨率的圖樣和最小尺寸到10nm的特征,而灰化功能可提供卓越的蝕刻性能和最小的漿料消耗。TEL Tactras Vesta可以實現處理廣泛的材料，包括標準Si、SiN、SiO2和SiON薄膜，以及高k電介質和高級材料合成。該系統具有雙氣體入口控制，可精確控制劑量和過程均勻性。它還包括一個先進的傳感器單元，用於精確的實時蝕刻深度控制，以確保精確的結果。TOKYO ELECTRON Tactras Vesta蝕刻單元利用電子回旋共振（ECR）和側向RF（LRF）等離子體的組合。ECR等離子體用於深度蝕刻，而LRF等離子體用於進行批量蝕刻。Tactras Vesta設有可編程腔壁，以優化蝕刻工藝。腔壁可以配置為為機器內加工的每種材料提供最佳反應環境。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta還具有氫氣、氯氣和濺射氣體，使其能夠處理各種各樣的表面和過程。此外,刀具的靜止500瓦射頻發生器用於在較高的工藝溫度下進行幹蝕刻。這也使得TEL Tactras Vesta消除了濕蝕刻工藝的需要。TOKYO ELECTRON Tactras Vesta是一款高度集成的資產,提供先進的工藝控制、高分辨率和優良的特性模式,以及卓越的工藝一致性。此外，它的可編程腔壁允許全過程控制和精度。這使得Tactras Vesta成為快速原型化高級結構和設備的理想解決方案。