二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0 #9284628 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0是一種先進的蝕刻機，設計用於在半導體基板上蝕刻圖樣。該蝕刻器適用於廣泛的應用，包括用於Airwrap™空氣稀釋過程的高精度電路，這是一種有助於提高蝕刻質量和產量的創新技術。TEL Tactras Vigus-0是一款具有9格設計的高端蝕刻器，允許同時執行多個蝕刻過程。該機配備了先進的硬件，涉及使用高純度CoF2蝕刻氣體。它有一個負載鎖室、一個晶圓膨脹室和一個化學氣相沈積源。蝕刻室一次最多可容納30個晶片。該蝕刻器還具有兩個等離子體源和三個晶圓加熱級，能夠支持各種蝕刻技術。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0配備了高精度級控制和高速加工能力，可以提高蝕刻循環時間。它還配備了實時監控設備，用於檢測蝕刻變異的早期跡象。該系統允許在蝕刻過程中進行精確調整，有助於減少蝕刻時間，提高整體蝕刻精度。該蝕刻器具有先進的氣體控制單元，有助於確保穩定的蝕刻氣體流動，同時將雜質進入過程的風險降至最低。它還配備了多種等離子體源和蝕刻氣體，可以優化蝕刻輪廓、可重復性和選擇性。此外，該機還融合了多項安全維護功能，包括高精度泄漏檢測、安全互鎖、動力監測機等，保護蝕刻器及其用戶。Tactras Vigus-0是一種先進的蝕刻器，適用於半導體工業中各種復雜的蝕刻工藝。該蝕刻器旨在提供卓越的蝕刻質量、精度和可重復性，同時遵守嚴格的安全和可靠性標準。該蝕刻器具有高度的可配置性和可擴展性,可容納各種蝕刻技術,成功率很高。