二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+ #293649539 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+是為廣泛的半導體晶圓處理應用而設計的高級蝕刻器/asher。這種精密的蝕刻器具有多向循環加熱加熱室，允許多個晶片在一個過程步驟中進行處理。與競爭蝕刻系統相比,Tactras Vigus LK3+提供了高達30%的改進蝕刻速率和尺寸控制。TEL Tactras Vigus LK3+采用高端自動化設備構建,可提高處理時間的準確性和可重復性。該工具還具有強大的自動清洗系統，使操作員能夠減少手動清洗的總量並提高設備可靠性。這臺機器能夠進行自動傳感器校準和一系列的過程監控，為用戶提供更大的過程控制。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+的人性化圖形用戶界面（GUI）通過提供易於理解的圖形顯示和過程參數，簡化了蝕刻過程。此GUI允許用戶輕松設置過程條件、蝕刻配方和實時故障排除。此外，利用其數據收集模式，用戶能夠訪問和存儲相關數據，從而實現更好的流程管理。Tactras Vigus LK3+提供頻譜靈活性，允許用戶定制不同基材的蝕刻速率和工藝參數。由於多向循環加熱的加工室，晶圓在整個蝕刻過程中都暴露在相等的壓力和溫度下。這樣可以改善邊緣均勻性，降低應力水平，特別是在低k基板的蝕刻過程中。此外，低顆粒產生的工具確保了卓越的晶圓質量。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+是尋找可靠一致蝕刻資產者的理想選擇。這臺健壯的機器包括一系列創新功能,包括改進的蝕刻速率和尺寸控制、復雜的自動化、過程監控功能、頻譜靈活性和低粒子生成。無論您是小型IC設計公司還是大型制造商，TEL Tactras Vigus LK3+都是滿足您半導體晶圓加工需求的完美解決方案。