二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+ #293649540 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+是一款最先進的蝕刻器/asher，旨在為各種工藝提供先進的精度和質量。這種蝕刻器/粉碎器的特點是存在碰撞下金屬化（Uber Bump Metallization, UBM）工藝,它顯著降低了由陣列錯誤或其他問題引起的不準確形成顛簸的風險。該工藝采用PECVD工藝，將UBM膜沈積在金屬凸起上，從而使凸起的位置準確而均勻。TEL Tactras Vigus LK3+還提供了先進的大氣壓等離子體處理設備，允許高效的表面活化。這一工藝改善了基板的潤濕性，改善了金屬薄膜與晶圓基板的附著力。該系統還提供了精確的沈積速率，金屬精度為+/-0.1nm，螺距控制為30nm，確保了精確的金屬沈積。TOKYO ELECTRON TACTRAS Vigus LK3+具有環保的設計，具有微粒的低排放和低壓蝕刻裝置，產生的危險較小的廢氣。這臺機器還裝有自動多參數記錄器，用戶可以在蝕刻或灰化過程中記錄各種信號和參數。Tactras Vigus LK3+配備了各種先進的安全管理系統，包括安全快門、氣量監視器、地面故障中斷器、真空斷路器。該工具可提供可靠的保護,防止發生事故和機器故障。該機還包括基於觸摸面板的控制資產和激光抗蝕性邊緣剖面模型，有助於精確地控制蝕刻過程。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+是一款非常先進和可靠的蝕刻器/asher，在不犧牲安全性的前提下提供卓越的精度和質量。其先進的UBM工藝和精確的沈積速率使得金屬顛簸能夠精確形成，而其全面的安全管理系統則確保了對事故和機器故障的可靠保護。