二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 #9284611 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3是為各種材料的精密蝕刻和灰化而設計的下一代蝕刻和灰化設備。該系統非常適合生產微電子、生物醫學、半導體和納米技術等領域的高質量設備。Vigus采用了高水平的激光隔離技術，提供了最高質量的蝕刻和灰化，意味著即使是最精確的切割，也可以以更高的速度和精度進行。該單元具有TEL專有TCS（技術控制單元），它提供了更高的蝕刻和灰化率、改進的過程控制以及更大的過程可預測性。這樣可以確保每個應用程序都能獲得最佳的蝕刻和灰化率。GUI還提供各種視覺設置以及對蝕刻和灰化模式的用戶友好控制。Vigus能夠產生單層和多層蝕刻和灰化圖案。該單元可以處理多種材料，如金屬、非金屬、聚合物，甚至石英。再者，該單元還可以加工有機和無機材料，如石墨和半導體基板。此外,Vigus還提供各種蝕刻和灰化選項,例如清潔、蝕刻和灰化,使用戶可以根據手頭的應用定制方法。Vigus提供了其他機器無法比擬的卓越精度。它能夠將材料蝕刻和灰化至高達25nm的分辨率。由於該單元提供的精度，芯片制造和其他微電子應用的可能性幾乎是無限的。與前代產品相比,Vigus還提供更高的吞吐量和更低的擁有成本。該裝置的能效等級比其他許多蝕刻和灰化系統都要高。這使得它非常適合大量生產各種設備。此外，Vigus提供了一個廣泛的食譜庫，允許用戶嘗試不同的蝕刻和灰化技術-快速和容易。TEL Tactras Vigus LK3是一款功能強大、精密的蝕刻和asher工具,可為用戶提供最高級別的控制和準確性,幫助他們在多種材料中創建高質量的設備。Vigus憑借其先進的技術、豐富的食譜庫、低的擁有成本，是大型生產的理想蝕刻和asher資產。