二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 #293649549 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3是一種蝕刻器/asher,設計用於在一系列基板上創建3D模板,如矽片、陶瓷和玻璃。這種先進的蝕刻器/asher具有精確的陣列設備，利用電動級和高精度激光光學器件提供一貫的高精度圖案。使用光學、激光和運動控制系統的獨特組合,TEL Tactras Vigus RK3能夠以最高的精度和可重復性創建復雜的3 D模板。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3配備了健壯的8軸運動控制單元，使復雜的微結構具有高度的可靠性。此外,這臺機器還提供了一個閉環通信接口,用於與外部設備（如計算機輔助設計（CAD）程序）接口。此外,此工具還提供了一個全面的用戶友好操作模式,允許輕松更改參數和快速設置。Tactras Vigus RK3利用先進的3D可編程激光器，具有高重復率和脈沖寬度，能夠實現亞微米精度。這種激光器由檢流計鏡子供電，該鏡子將光引導到基板上進行精密蝕刻。此外,蝕刻器/asher還配備了自動掃描控制資產,可精確定位激光以實現高精度陣列。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3還具有內置的等離子體生成模型，該模型旨在提供低溫等離子體環境，以便在蝕刻時降低底物的溫度。這種產生等離子體的設備能夠達到500°C以下的等離子體溫度，並提供更均勻的模式過程。最後，TEL Tactras Vigus RK3設計了一個全閉環控制系統，可以連續監控每個單元的參數，如電流、溫度、氣壓和激光功率。這臺控制機器提供了對蝕刻過程狀態的即時反饋，使調整能夠快速準確地進行。因此,此工具保證了適用於各種應用程序的一貫高精度蝕刻過程。