二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 #293649553 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3是一種蝕刻器/asher,設計用於處理115nm （0.1 μ m）級的高級材料。它的無化學、等離子體蝕刻技術允許在超細材料中制造各種結構，包括溝槽、接觸孔或通過孔。這種先進的蝕刻技術提高了半導體行業蝕刻工藝的性能。TEL Tactras Vigus RK3 蝕刻器/asher具有用於過程控制的高精度、高分辨率主動過程補償（APC）系統。此功能允許穩定、高度可重復的蝕刻過程。此外，由於內置主動冷卻系統，處理速度非常高效。該工藝室設計有等離子體加工和材料加載的獨立區域，能夠進行各種蝕刻過程。此外，TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3還附有擴展配方數據庫和功能集。此蝕刻器/蝕刻器允許選擇最佳蝕刻參數,並可選擇創建自定義的蝕刻配方。此外,流程條件數據庫允許保存、分析和顯示實時流程結果,從而為工程師提供了優化和控制流程的強大工具。Tactras Vigus RK3 蝕刻器/asher是納米級高分辨率材料蝕刻的理想解決方案,具有顯著的成本效益和性能優勢。即使在要求最苛刻的蝕刻應用中,它也能夠提供卓越的質量,確保半導體器件制造商獲得高產、無缺陷的產品。