二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649556 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4是一款先進的蝕刻器/asher,旨在促進精確、可靠和快速的電子蝕刻和灰化工藝。蝕刻和灰化是通過向目標材料施加電能從任何材料中去除不需要的表面層的過程。TEL Tactras Vigus RK4擁有一系列全面的功能,旨在消除蝕刻和灰化過程的麻煩。該設備配備了先進的平板自動匹配設備,以確保精確一致的蝕刻和灰化效果。自動匹配系統由位於設備表面材料周圍的三個傳感器組成,能夠即時調節電源電壓、劑量率和蝕刻功率,以保持蝕刻和灰化過程的最佳條件。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4還采用了一種獨特的溫度監測裝置,以確保一致的蝕刻和灰化結果。溫度監測機配有放置在材料區域附近的元件,可實時精確檢測溫度,進而能夠調整蝕刻和灰化參數,以保持理想溫度水平。Tactras Vigus RK4能夠處理各種不同厚度的金屬、陶瓷和塑料材料。該設備與Wet Plasma CsCl、CuCl和CBr等多種蝕刻/灰化方法以及Dry Ashing兼容,適合多種應用。該設備還與O2、Xe、CO2和SF6等各種蝕刻劑兼容,便於蝕刻劑和應用之間切換。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4配備了多種安全功能,有助於確保設備的安全運行。安全功能包括內置的過壓保護和壓力傳感器,以幫助防止潛在的安全隱患。設備還配備了自我診斷功能,能夠不斷檢查設備的操作狀態並發送可能出現故障的通知。總而言之,TEL Tactras Vigus RK4是一款高度先進的蝕刻器/asher,旨在使蝕刻和灰化過程高效、一致且安全。該設備是實驗室、蝕刻和灰化設備用戶尋找易於使用、可靠的蝕刻和灰化設備的理想選擇。
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