二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649557 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4是市場上廣泛使用的蝕刻器/asher,旨在提供具有高級功能的最高精度。此設備具有一整套功能,使其成為蝕刻和灰化過程的理想選擇。TEL Tactras Vigus RK4的第一個獨特特點是氣體輸送系統，它能夠同時提供載氣和最多兩種氣體混合物，允許廣泛的過程。氣體輸送裝置還提供定時開口，使用戶可以輕松準確地控制腔內的氙氣流動和反應持續時間。此外，該RK4能夠自動控制溫度循環，從而能夠精確管理工藝溫度。TOKYO ELECTRON TACTRAS Vigus RK4還配備了一個真空室，該真空室包含兩個旋轉板組件，用於拆卸和攜帶產品進行蝕刻和加工。這些組件設計用於接受直徑不超過4英寸的產品,並便於產品在加工室中快速裝卸。Tactras Vigus RK4上的自動壓力控制機也是一個令人印象深刻的特點，允許在蝕刻或灰化過程中進行瞬間壓力管理和控制。這種控制工具允許用戶實時調整和校準腔室壓力，確保最準確和一致的結果可能。為了最有效地利用其壓力控制資產，TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4配備了五點壓力測量模型。TEL Tactras Vigus RK4是為最大精度和準確性而設計的,目的是在蝕刻或灰化過程中最大程度地降低材料損壞或不飽和的風險。該設備提供定期加熱/冷卻系統，能夠準確監測溫度和環境條件，以提高工藝穩定性。此外，TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4還配備了自動穩定裝置，有助於減少工藝波動，以獲得最佳效果。綜上所述，Tactras Vigus RK4旨在提供蝕刻和灰化過程中的最高精度。它的一套功能,如氣體輸送機、自動穩定工具和五點壓力測量資產,使RK4成為希望在其蝕刻和灰化過程中產生極其準確和一致結果的實驗室的理想選擇。