二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649558 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4是一款Etcher/Asher，設計用於處理液體和真空蝕刻和灰化應用。它是一種高性能的蝕刻和灰化設備,旨在提供過程重復性、出色的成像性能和高通量。適用於廣泛的應用，包括多層半導體加工。TEL Tactras Vigus RK4采用三室設計，能夠同時進行多次蝕刻/灰燼操作。主蝕刻/灰室是一個大而孤立的封閉環境，汙染最小。腔室容量最大為1080升，壓力範圍在75至150托。還包括一個獨立的幹法室，用於無水蝕刻工藝，如CF4蝕刻和SFE蝕刻。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4包含多種工藝氣體來源，包括氟化氫（HF）、三氟化氯（CF4）和SF6，以實現高蝕刻選擇性率和較低殘留物。包括冷壁式靜電卡盤（ESC）,以確保與高級設備的兼容性。電力系統獨立，0.05kW 50kW的功率範圍很廣。它還具有很高的可靠性，配有射頻天線電源鏈條單元和嵌入式過程監測機。Tactras Vigus RK4有幾種不同的工藝可以選擇，包括蝕刻深反應性蝕刻（DRIE）、各向同性蝕刻、各向異性蝕刻、灰化等。Etcher/Asher還具有通用的溫度控制,最高溫度範圍為500 °C,使操作員能夠定制每個特定的工藝。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4支持多種裝卸交換機制，如穿梭機器人或卡帶到卡帶工具。還配備了濕式清潔資產，表面光滑，IPPC防護等級為5級。整個型號采用快速操作制作，允許出色的化學機械拋光工藝和各種蝕刻/灰分配方的快速循環時間。