二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK5 #293802322 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK5是為生產微芯片和集成電路板而設計的先進蝕刻設備。它是一個由多個組件組成的系統，可協同工作以提供高精度蝕刻。該單元的兩個主要部件是包含蝕刻介質的蝕刻室和將蝕刻材料施加到基板上的抵抗相機。這些組件通過特殊的真空機連接，以確保安全和安全的蝕刻過程。蝕刻室是該工具的主要部件，其中包含化學氣相沈積（CVD）和幹蝕刻氣體。該組件能夠控制腔室的壓力和溫度以及蝕刻所需的時間。CVD工藝在蝕刻室進行，在該室中，基板暴露於與基板材料反應以蝕刻所需特征的反應氣體的組合中。幹蝕刻工藝也發生在蝕刻室，但需要不同類型的反應性氣體和基板組合。Resist Camera是資產的第二個主要組件,其中Resist材料應用於基板。這是在蝕刻過程之前完成的,以便以受控的方式進行蝕刻。抵抗相機還能夠控制蝕刻的速度，以及材料的厚度。這確保了精密蝕刻生產的小和復雜的特征。真空模型是設備的最後一個部件，負責疏散蝕刻室和抵抗相機，創造適合蝕刻過程的環境。該系統還有助於控制蝕刻過程中使用的反應性氣體的數量。TEL Tactras Vigus RK5是一個先進的蝕刻單元，結合了必要的組件和技術，提供精確可靠的蝕刻結果。該機采用了先進的CVD和幹蝕刻技術，以及抵抗相機，以確保復雜和微小的特征可以產生一致的精度。該工具還設計有真空資產，以確保創造和維護理想的蝕刻條件。這些組件的組合確保了高產和優質零件的生產。