二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #293818565 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是一種蝕刻器或「灰燼」，用於一系列過程，包括沈積、濺射塗層、CVD、升空、平面化和通過圖樣化。該工具采用離子植入技術，以高精度沈積高達55 nm厚的材料層。它提供了基板上蝕刻地形的均勻性，也可用於進行化學氣相沈積（CVD）。蝕刻過程由離子植入和濺射塗層進行，而CVD過程則是通過在基材上引入氣相成分來完成。TEL Tactras Vigus蝕刻器配備了一系列先進組件，包括陰極、基板支架、RF微波、基板冷卻系統和氣體註入機構。陰極產生一個用來蝕刻矽的放電，而基板支架可以容納直徑達8英寸的基板。頻率範圍為1.8至38.5 GHz的大功率射頻微波，用於為蝕刻過程創造高溫、強壓電等離子體。基板冷卻系統將基板的溫度保持在5-40攝氏度的範圍內，從而確保沈積和蝕刻過程安全進行。最後，采用氣體噴射機理控制氣液的蝕刻速度、壓力、化學成分以及氣體流速。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus蝕刻器的主要優點之一是能夠精確蝕刻到55nm，即使在石墨、旋齒合金等多孔表面也是如此。此外，該工具可以很容易地集成到現有設備中，並且可以在潔凈室或露天條件下操作。再者，憑借其高速旋轉和高速、低壓蝕刻設備，可以快速準確地完成蝕刻過程。因此，Tactras Vigus蝕刻機適合廣泛的應用，包括生產、研究和開發。