二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #293818724 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是專門為集成電路(IC)和平板顯示器(FPD)基板的制造而設計的先進蝕刻器/asher。它是一個高通量的平臺,它結合了最先進的過程控制和積極的周期時間,以提供卓越的產量。TEL Tactras Vigus的強大功能集旨在滿足各種客戶需求。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus 蝕刻器/asher允許自動化,並為各種IC和FPD處理過程提供靈活性。它具有開放式平臺體系結構,具有直觀的圖形用戶界面(GUI),可實現快速設置和操作。通過使用先進的工藝控制技術,Tactras Vigus能夠首次、每次提供可靠、可重復的蝕刻工藝。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus的工藝靈活性允許用戶在保持最佳效果的同時蝕刻從小基板到大面板的一切。TEL Tactras Vigus具有緊湊的占地面積,可最大化可用工作空間。它利用多光束激光輔助燒蝕提高精度和更好的邊緣清晰度。其高基板吞吐量可以提高生產率。集成的CompactLoadLock模塊進一步促進了晶片的自動裝卸。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus可以容納鋁陽極氧化、EDM、燒蝕和反應性離子蝕刻等工藝。它專為惡劣的環境應用而設計,例如汽車、通信、微波電子和醫療設備行業,這些行業需要強大的蝕刻解決方案。蝕刻模塊可以定位在工作臺布局中,以提供靈活的實時蝕刻模式。TactrasVigus中的高級過程控制程序確保每次都可重復、精確的蝕刻。觸摸屏GUI、可見指示器和設置為操作員提供了直觀的用戶界面。這使用戶能夠快速調整參數設置並微調蝕刻過程。各種可用的狀態設定讓使用者可以針對任何基材優化蝕刻工藝,而TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus亦提供即時蝕刻參數調整,以配合工藝條件或基材的變化。TEL Tactras Vigus結合了強大的過程控制技術,以確保可重復和準確的蝕刻過程。加密硬盤、自動晶片識別、環境監控以及溫度、壓力和電壓監控等功能使TOKYO ELECTRON Tactras Vigus成為滿足您蝕刻需求的理想選擇。其緊湊的占地面積、靈活性和可靠性使得Tactras Vigus成為先進的IC和FPD基板蝕刻的首選。
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