二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #9252286 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是一款在半導體制造過程中提供卓越蝕刻性能和吞吐量的蝕刻器/asher。TEL Tactras Vigus采用獨特的雙室電化學蝕刻設備（ECE）設計，提供精確一致的晶圓蝕刻，具有快速的晶圓處理時間。這種多功能蝕刻器非常適合處理各種多樣復雜的工藝，如SiC、SiGe、III/V化合物和Cu。該蝕刻器采用獨特的雙室系統設計。歐洲經委會單位允許不同的蝕刻配方和腔室溫度，從而確保最佳蝕刻結果。此外，機器還允許通過其自動化過程進行過程優化和過程控制。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus提供了非常精確一致的蝕刻結果。該蝕刻器每小時可蝕刻25毫升（635微米），這是當今市場上可用速度最快的蝕刻器之一。此外，歐洲經委會的工具為整個晶片提供了極好的蝕刻均勻性，甚至提供了最具挑戰性的蝕刻型材。此蝕刻器用戶友好、高度可靠,並提供各種功能,例如集成的安全和環境控制。其他功能包括實時監控和分析工具，以及用於清潔和凈化的內置自動滅菌功能。蝕刻室還提供獨立的裝卸機制，確保所有工藝的最大安全性和可靠性。Tactras Vigus的控制資產設計直觀，允許快速、輕松的設置和操作。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是任何需要精確可靠蝕刻工藝的半導體應用的絕佳選擇。其創新的雙室模型提供了最大的效率和靈活性，量身定制，以滿足廣泛的蝕刻要求。此蝕刻器提供高吞吐量和可靠的過程控制,可幫助您實現生產目標。