二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #9252288 待售

ID: 9252288
晶圓大小: 12"
Dielectric etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是一款為半導體和電路板設計的蝕刻器/asher。該設備精確度很高,可以通過其創新的深度反應性離子蝕刻(DRIE)技術進行編程,創建多種電路設計。TEL Tactras Vigus可以在基板的正面和背面進行蝕刻,產生高達40微米、蝕刻深度為1微米以上的錯綜復雜圖案。該系統可以在多基板配置上進行蝕刻,允許制造多層系統。其精密光束掃描儀能夠識別和蝕刻標準和非標準幾何形狀。Vigus是一個半自動裝置,設計提供快速、精確的蝕刻。這臺機器使用一個氮離子等離子體來分布精確控制的蝕刻深度和角度,為你的電路板創造所需的形狀。它有一個集成的光束查看器,在蝕刻過程中提供基板的實時圖像,從而能夠進行更詳細的分析並確保高質量的蝕刻。它還具有一個自動對準工具來精確地將基板集中在蝕刻機內,以及一個自動火控資產,它對環境的變化做出了極其精確的反應。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus設計方便安全維護。其先進的安全監測模型確保在加工過程中不會釋放有害物質。其逼真的3D虛擬模擬功能還有助於詳細分析蝕刻過程的效果和行為。它還包括高壓報警設備,確保安全的環境,同時保護設備免受任何故障或環境變化的影響。總體而言,Tactras Vigus 蝕刻器/asher是一個功能強大、精確的系統,其獨特的Deep Reactive Ion Etch (DRIE)可提供精確快速的電路設計。它具有直觀的操作和安全措施,使其成為任何半導體或電路板生產設施的強大工具。
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