二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #293591387 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras是一種高度先進的蝕刻/asher技術，在半導體工業中被用於廣泛的工藝。TEL Tactras設備作為一種蝕刻器/粉碎器,效率極高、準確可靠。TOKYO ELECTRON Tactras系統通過使用感應耦合等離子體（ICP）源來產生自由電子，然後加速成薄膜層。ICP光源和光學聚焦透鏡設計為在寬廣的區域上提供均勻的等離子體光束密度，允許對蝕刻過程進行高度控制。Tactras有廣泛的操作參數和可選參數，如壓力、功率和溫度。這樣可以對過程變量進行微調，並獲得最佳蝕刻速率和過程產量。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Tactras包括一個交互式的可編程觸摸屏界面，允許容易操作和自動化的蝕刻/asher單元。TEL Tactras機配備了互鎖工具和射頻防護護罩等高級安全功能。這些特點有助於保護人員和設備免受比較方案輻射的潛在破壞影響。資產也是完全可調整和可配置的，以最大限度地提高吞吐量，最大限度地降低成本，並增強過程的統一性和可重復性。TOKYO ELECTRON Tactras 蝕刻器/asher適用於先進形式的微機械加工、沈積、光掩模和蝕刻工藝。此外，Tactras模型還可用於超細、低溫、低壓蝕刻工藝以及高溫、高壓工藝。此功能在精密半導體工業中提供了廣泛的應用。總之，TEL/TOKYO ELECTRON Tacher/Asher是一種高度先進的蝕刻設備，提供高效、可靠、精確的蝕刻和灰化工藝。TEL Tactras系統具有一系列安全特性、可調參數和現代化的觸摸屏界面,非常適合精密半導體行業。