二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #293667129 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras是一種用於微加工和半導體加工的蝕刻器/灰化器。它旨在以經濟高效的方式高精度、高質量地蝕刻和磨損基板。TEL Tactras能夠蝕刻和粉刷多種材料，包括多晶矽、金屬、二氧化矽、氧化物，甚至一些有機底物。它具有低壓、低溫、高精度的等離子體生成設備，提供卓越的蝕刻和灰度控制。該系統由各種蝕刻器和灰燼器提供動力，這些蝕刻器和灰燼器可用於高精度和可重復性的定制過程。蝕刻器/asher包括一個卸載站,它可以自動裝載和卸載基板,並確保負載/卸載周期耦合以獲得最大吞吐量。TOKYO ELECTRON Tactras還配備了立體顯微鏡，可以直接觀察蝕刻和灰化過程。它配備了一個創新的自清潔單元，以確保蝕刻器/asher始終清潔和操作。該機器由用戶友好的軟件控制,該軟件允許輕松設置、操作和監視蝕刻和灰化條件。Tactras etcher/Asher是半導體制造和高精度微加工工作等工業應用的理想選擇。它能夠實現卓越的可靠性和可重復性,允許高產和高質量的產品。該工具提供了可靠、高效和經濟高效的解決方案,使其成為蝕刻器/asher的絕佳選擇。