二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9304349 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras是一款設計用於半導體晶圓制造的下一代蝕刻器/asher。它是一種經濟高效的解決方案,可以同時執行蝕刻和剝離過程。該機采用先進的模式優化算法和多種計量特性，具有專有的過程控制設備。該機具有高速、高性能的直驅電動機，可實現快速定位精度。憑借其高速納秒伺服系統，TEL Tactras能夠蝕刻低至80 nm的特性，實現晶圓表面的超精細圖案。TOKYO ELECTRON Tactras通過控制溫度、壓力、流量和功率等工藝參數實現精密蝕刻和剝離。為了保證過程的穩定性，它采用了氣流監控器、多區晶圓溫度控制單元和多相過程等離子體控制功能來精確控制電離氣體的分布。Tactras還具有多模塊功能，允許操作員更改配置以滿足特定的流程要求。它支持一個開放的架構來支持不同的化學研究和開發。它還支持第三方軟件、探測器和設備的集成。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras具有通用電源、雙室設計和先進的冷卻機，為準確、可重復的工藝結果提供穩定的環境。它的五邊形腔室設計在定位晶片方面提供了更大的靈活性，允許您從多個方向和角度處理樣品。TEL Tactras還包括一個直觀的觸摸屏控制界面,它提供了快速、輕松的流程設置。觸覺導航使操作員可以輕松地控制蝕刻器的參數，並提供詳細的過程視覺反饋。最後，TOKYO ELECTRON Tactras的設計壽命長，性能一致。它具有高效的散熱工具,不需要頻繁的維護工作。它還支持大量晶圓尺寸，並具有用於精確過程控制的內置校準資產。