二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #293592867 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC是一種超高精度、高度可靠的蝕刻器/asher，具有許多有用的特性。它是一種中等精度、負載能力中等的設備。該系統由鎖載室、等離子體源、基板加熱元件、蝕刻室、背面冷卻單元和排氣單元組成。該鎖載室配有一個裝載口和閘閥，用於裝入/裝出基板。等離子體源是一種電感耦合射頻（RF）源，用於在蝕刻室中產生高密度等離子體。基板加熱元件可用於精確控制蝕刻室內基板的溫度。蝕刻室設計用於維持高達500 °C的工藝溫度，因此適用於廣泛的蝕刻工藝。蝕刻室配有穿孔的頂板和底板，使加工氣體可以均勻分布在腔內。腔室還有一個集成冷卻單元，以確保整個基板的溫度均勻。背面冷卻裝置用於在蝕刻過程中冷卻基板。機組的冷卻效果可根據基板尺寸、蝕刻工藝和工藝條件進行調節。排氣裝置的設計是為了保持工藝室的清潔，同時防止工藝氣體逸出到環境中。除了上述功能外，TEL TE 480 HGC配備了兩個接口；工業4.0和擴展服務控制（ESC）。Industry 4.0接口提供設備與操作員之間的安全通信,並有助於確保蝕刻過程正常運行。擴展服務控制（ESC）模塊允許遠程維護、機器診斷和升級功能。總體而言，TOKYO ELECTRON TE 480 HGC是中精密蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。該工具的高精度和可靠性,加上先進且易於使用的控制接口,使其成為各種半導體相關應用的理想選擇。
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