二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #9226078 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC
ID: 9226078
晶圓大小: 6"
優質的: 1989
Etcher, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC是一種蝕刻器/asher,一種用於制造電腦、遊戲機、家電等各種終端產品的微電子的機器。這種類型的蝕刻器/asher是為在高密度應用中的精度和準確性而設計的。TEL TE 480 HGC具有約177 x 159 mm的大型單件晶片表面積,具有處理直徑6(或8)英寸的矽晶片的能力。從氧化到蝕刻/灰化、各種金屬沈積、離子植入和沈積等各種生產工藝,這種蝕刻器/灰化器能夠處理大多數典型的微加工任務。TOKYO ELECTRON TE 480 HGC為確保處理輸出的均勻性提供了高度的控制。高氣體處理效率(HGE)使其具有高能效.它還具有經EPA類驗證的溫度和壓力控制系統,以微調工藝要求。兩級主可調壓力系統進一步保證了粘附或蝕刻厚度均勻。TE 480 HGC采用了最先進的先進絕緣材料,用於均勻的熱分布和改進的熱性能。這是用位於設備下層的溫度傳感器完成的,以確定最佳的工藝溫度。它安靜的操作進一步使機器能夠適應任何環境。此外,TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC提供直觀的用戶友好界面。它可以用蝕刻深度、蝕刻速率、壓力、氣體類型等多種參數輕松編程。它可以手動編程,也可以通過計算機控制的監督系統編程,以便為大多數流程選擇適當的配方。最後,TEL TE 480 HGC通過了ANSI/SEMI-S2-98 SMC-1000標準,符合半導體行業標準。這樣可以確保機器的所有零件和操作都按照最高質量標準進行設計和測試。總體而言,TOKYO ELECTRON TE 480 HGC是一款可靠的自動化蝕刻器/Asher,旨在通過其尖端功能提供精確和精確的微加工解決方案。它對高密度應用的適用性進一步使其成為尋求生產優越微電子產品的制造商的理想選擇。
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