二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9098935 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480是一款具有高性能的表面酸和等離子體蝕刻的蝕刻/灰燼。該蝕刻器可以在同一過程中處理單面和雙面基板。腔室塗有聚四氟乙烯（PTFE），防止顆粒粘附在被蝕刻的零件上。蝕刻器還配備了自動內置的安全功能,包括在檢測到過熱蝕刻劑時關閉過程的能力。蝕刻器有一個自動晶片處理設備，用於監視腔室，並有助於確保晶片的準確裝卸。它還有一個電離氣體（IG）蝕刻系統，利用高密度電離氣體（IG）在不留下毛刺的情況下快速蝕刻底物。IG蝕刻方法非常適合在設備上進行精確復雜的圖樣蝕刻。IG蝕刻單元還提高了蝕刻速度，減少了蝕刻每個設備所需的時間。TEL TE 480蝕刻器具有大腔室（4.2 "X 4.5" X 10"），容量為60個晶圓，直徑為300 mm。它還具有一個頻率範圍為100-600 kHz的高功率射頻發電機和一個多頻功率控制機器，能夠在蝕刻過程中向基板有效輸出功率。蝕刻器還配備了隔離的射頻動力工具和4千瓦的最大蝕刻功率。計算機控制的資產可以被編程為同時蝕刻多個晶片，進一步提高蝕刻速度。蝕刻器有各種系統來監控過程，包括當壓力超過設定值時警告用戶的實時模型壓力警報，以及檢測異常氣體泄漏的設備室泄漏警報。它還有一個腔室溫度控制系統，使腔室溫度在設定的範圍內保持恒定。該蝕刻器設計為易於操作和維護，其用戶友好的界面。除自動安全功能外，蝕刻器還附有追溯控制程序，保證了高質量的蝕刻。該單元記錄晶圓處理歷史，如所使用的蝕刻配方和蝕刻樣品數量。這臺機器還有助於減少由於材料或設備故障而造成的故障,並能夠對問題基板進行實時監控和重新處理。總體而言，TOKYO ELECTRON TE 480蝕刻器是一種可靠、高性能、用戶友好的蝕刻器，非常適合在各種基材上蝕刻錯綜復雜的圖案。其廣泛的安全功能、可追蹤性控制程序和自動晶圓處理工具使用戶能夠在使用最少資源的同時準確、快速地進行蝕刻。