二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9269143 待售
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TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON TE 480是一種用於半導體制造和微電子的蝕刻器/灰化器,采用先進的高精度應用和工藝來生產質量最高的元件。它提供了極其精確、可靠和可重復的背蝕工藝,能夠從多種材料中產生高密度、高縱橫比的蝕刻。TEL TE 480使用專有的TEL/TOKYO ELECTRON控制系統來管理蝕刻過程,利用高級算法來實現優化的蝕刻時間和更高的小元件產量。TOKYO ELECTRON TE 480允許選擇的蝕刻深度可達200微米,其蝕刻能力比其前代產品高30%。此外,它還配備了各種尺寸從2升到15升不等的容器,以提高工藝靈活性,並配備了一系列溫度控制系統,使其能夠用於各種應用,包括潔凈室工藝。此外,其自動晶片傳輸和彈匣系統可實現高吞吐量,提高正常運行時間和晶片安全性,集成端點圖像(EPP)系統能夠檢測邊緣和其它不規則性,從而實現自動停止位置以確保高精度。在軟件方面,TE 480具有多種監視和分析功能,包括強大的過程管理和報告以及實時調整。此外,各種配方可用於滿足各種蝕刻作業需求,其他功能(如紅外光源功能)可利用高級技術進行高精度蝕刻。總而言之,TEL/TOKYO ELECTRON TE 480蝕刻器是為滿足當今精密微電子產業的需求而設計的,裝備精良,能夠提供高質量的蝕刻和灰化效果。
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