二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #293823431 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一款高級蝕刻器/asher，專為一系列半導體應用的高級蝕刻工藝而設計。蝕刻過程包括使用化學蝕刻在表面上形成指定的圖樣、形狀或設計。這通常用於微電子制造過程，如光刻，以創建所需的成品。TEL TE 5000 ATC專為高精度、高通量的蝕刻應用而設計。它配有精確控制系統，用於精確輸送溫度、壓力和氣體系統，以創建正確蝕刻的表面或結構。它還有一個高速掃描設備，用於精確分析各種半導體器件中的蝕刻過程和執行過程。這種蝕刻器/asher由具有多層安全的高級材料構成，以防止操作風險和錯誤。該系統設計易於操作和用戶友好。它有一個直觀的操作面板,可訪問各種數據和控制設置。其特點是采用不銹鋼制成的全尺寸加熱室，用於熱控蝕刻配方，以保證蝕刻工藝的可重復性。該裝置的快速對準反饋攝像機可以監控蝕刻的質量，該攝像機提供圖樣密度和深度等各種標準的瞬時成像。TOKYO ELECTRON TE 5000ATC還利用射頻火花放電技術進行大量的清洗和蝕刻工藝。它是為處理濕蝕刻應力而建造的，能夠處理矽和非矽材料的蝕刻。蝕刻器/灰化器采用先進的氣體輸送機設計，允許清潔、幹燥和惰性氣體的無縫組合，用於等離子體增強的蝕刻過程。該工具還使用先進的基板分期資產，以有效利用空間和減少操作員疲勞。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC設計用於多種高性能半導體制造環境。它具有靈活的體系結構,允許在生產線上以最小的重新配置實現。它具有很高的工藝重復性，同時提供了優異的精密蝕刻效果。