二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #293830626 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一款高精度、多功能的幹式蝕刻器/asher。它非常適合各種應用，包括光刻、高級蝕刻、隔離、坡道退火和熱退火。蝕刻器提供了多種特性和功能,例如高蝕刻速率、基板控制、清潔過程以及減少周期時間的應用程序設計。蝕刻器利用一個專利的電磁輔助電子束（EMEBE）源來清潔腔室，減少循環時間並導致一致的處理。EMEBE源也用於在蝕刻室中生成等離子體；通過這樣做，汙染物和殘留物可以很容易地得到管理。該蝕刻器包括一個自動基板安裝設備，允許快速和方便的基板放置和真空室密封維護。該系統還包括可調節性，允許每個基板獨立或集體調整。TEL TE 5000 ATC有控制熱和射頻系統。射頻單元可以容納多種頻率，從而產生同時雙頻操作，這對於解決處理中經常遇到的阻抗和表面成分差異至關重要。射頻機還能準確管理基板和工件表面的溫度。ET 5000 ATC具有先進的壓力和溫度控制，可增強顆粒管理和減少蝕刻持續時間。它具有多種壓力水平，從大氣壓到次大氣壓，以及多種安全設置，以提高安全性。該腔室配備了多種傳感器，包括用於監測溫度、壓力和流量的紅外照相機和熱電偶。傳感器提供實時數據采集，允許用戶實時監控和調整參數。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是多種幹蝕刻和灰化應用的理想選擇，並以多種底物和材料提供優異的效果。高精度的蝕刻退火能力，加上其先進的工藝，使其成為高端研究和生產應用的理想工具。