二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9033639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是專為多晶矽等半導體工藝而設計的高性能蝕刻器/asher。它是一個全自動設備，具有高度先進的粒子控制系統和激光技術，提供無與倫比的生產力和出色的表面光潔度。TEL TE 5000 ATC具有先進的多室沈積單元，該單元由能夠容納各種基材尺寸的多個蝕刻罐組成。蝕刻工藝可根據工藝配方進行調整，圖形控制，使用方便。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC使用自動厚度控制（ATC），通過專門的光學機器監測沈積。這項技術為用戶提供有關薄膜厚度和工藝監控的實時反饋。TE 5000 ATC還帶有先進的溫度控制，使得基板在加工過程中能夠快速加熱和冷卻。這樣可以提高工藝一致性和提高沈積產量。該設備配備了EMC噪聲抑制功能,可減少電磁幹擾並將噪聲級別降至最低。此外，該工具還包括安全的氮氣供應，用於高穩定性的氣體蝕刻。除了出色的蝕刻性能，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC還具備強大的驅動資產，提供高速運動控制。運動控制模型允許同時操作多個具有精確基板定位的腔室，從而顯著減少了進程步驟之間的等待時間。TEL TE 5000 ATC還配備了基板檢索設備，可以快速準確地從蝕刻罐中檢索較小的基板。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一種先進的蝕刻/asher單元，非常適合用於生產多晶矽等半導體工藝。它提供卓越的性能和卓越的工藝控制,以及減少蝕刻時間.此外,該系統還提供安全的氮氣供應和先進的溫度控制,以提高工藝一致性,並抑制電磁幹擾（EMC）以實現更安靜的操作。TE 5000 ATC憑借其高速驅動單元和自動基板取回機，是生產優質半導體器件的可靠、經濟實惠的選擇。