二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9098711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC（蝕刻/灰化）設備是一種半自動化、多用途、高級蝕刻和灰化系統,提供多種高性能蝕刻和灰化工藝。TEL TE 5000 ATC單元是一種模塊化機器,旨在提供卓越的蝕刻和灰化性能及可變性,以及最高的生產率。該裝置預建有四個不同的實驗區，用於同時處理多個樣品。這四個過程可以完全定制，以滿足任何實驗的個別要求。此外,TOKYO ELECTRON TE 5000ATC可以通過附加模塊輕松定制,從而進一步擴展其功能。該工具由精密控制的HT型電子槍提供動力，能夠同時蝕刻和灰化。具有觸摸屏控制和實時過程監控功能的直觀用戶界面使其易於使用。它有一個改進的等離子體發生器，用於提高金屬基板上的蝕刻速率，以及一個用於自動裝卸的批裝機。TE 5000 ATC是一種精密、高度自動化的工具，用於蝕刻和粉刷各種材料，包括矽、復合半導體和金屬。它旨在根據當代蝕刻/灰分處理的要求,產生可重復、精確的蝕刻和灰分結果。TEL TE 5000ATC具有強大的流程和數據管理功能,允許用戶存儲和檢索配方及其他流程參數。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC使用種類繁多的氣體和精確的輸送系統，以提供準確且可重復的蝕刻/灰燼結果。積極控制和監測氣體供應，以確保一致和可重復的蝕刻速率。獨特的壓力流控制器允許對多種氣體進入腔室進行精確的壓力控制。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC是一種功能強大的多功能工具，可精確蝕刻和粉刷多種材料。TEL先進的工藝特性使其成為涉及矽、復合半導體和金屬的各種蝕刻和灰化工藝的理想選擇。其用戶友好的界面和可靠的過程控制使其成為需要一致準確結果的研究人員和蝕刻技術人員的理想解決方案。