二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142630 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一款先進的蝕刻器/asher設備，用於材料的大容量加工。它使用單晶片蝕刻室，以高達每小時50個晶片的速率加工直徑最大200毫米的基板。該系統由多桶載荷鎖定站、高穩定蝕刻室、低壓等離子體蝕刻源、閉環消減單元以及由隔膜泵和過濾器組成的排氣機組成。蝕刻室具有統一的溫度和壓力控制，使其更容易，不需要復雜的反應性氣體控制。TEL TE 5000 ATC具有集成的計算機工具和高級監控功能。它設計用於HPLC級CF4或NF3氣體。資產可以包括等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻、一個循環鈍化等幾個工藝步驟。每個進程運行時都會記錄進程參數,並且可以將結果與目標配方進行比較。該模型設計用於高精度圖樣蝕刻，允許對蝕刻參數進行精確控制，如選擇性、蝕刻速率和精度。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC設備可以處理多種基材，從金屬到矽片和絕緣膜。它還具有晶片和盒式磁帶的自動加載/傳輸系統。它具有用於精確蝕刻室壓力控制的自動泵控制.該設備具有高吞吐量的過程能力,具有很高的產品一致性可重復性。它具有內置攝像頭的高分辨率可視化功能。該機設計用於可靠的操作和最小的停機時間.它具有內置的可靠電路和過程監控，以及內置的安全互鎖工具。該資產設計方便維護和清潔，可與個人電腦連接，用於數據記錄和記錄保存。該模型的設計符合所有適用的安全和環境法規。TE 5000 ATC是一種用於大容量處理的可靠且先進的蝕刻器/asher設備。它是為精確控制蝕刻過程而設計的，還具有集成的計算機系統和監控能力。它是一個安全可靠的單元，易於維護。適用於一系列基材，能提供一致可靠的結果。