二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142638 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一種反應性離子蝕刻器（RIE），用於去除基板表面的材料層。這個裝置有一個先進的火炬室（ATC）設備，提供高速的材料蝕刻和高精度的加工為廣泛的應用。該系統通過結合高溫氫基等離子體和先進的火炬室設計，提供高速率、低損傷的蝕刻工藝。TEL TE 5000 ATC的主要部件包括等離子體室、渦輪分子泵和高級火炬室（ATC）。等離子體室采用先進的縫隙密封結構建造，最大蝕刻面積為395毫米乘278毫米。渦輪分子泵是一種高性能的泵，用於通過產生高真空來疏散腔室。最後，ATC利用高溫、高效的氫基等離子體產生強大的蝕刻工藝。該單元由Computer Numerical Control （CNC）軟件控制，軟件提供了包括過程控制、配方庫、報警模式和數據記錄功能在內的一系列功能。該機還配有溫度比例反饋電源（TPFS），可提供優化的蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON TE 5000ATC提供適合高溫操作的高速蝕刻工藝。該裝置設計用於可重復、精確、快速的深層結構、狹窄特征和大面積的蝕刻和清洗。它能夠蝕刻高分子、矽、砷、不銹鋼、鈦等多種硬質金屬等材料。該裝置用於生產手機、醫療設備和電子元件。總體而言，TE 5000ATC是一種先進的蝕刻和清潔工具，具有使其適合許多應用的特點。該裝置操作方便，提供了一種可重復、精確的蝕刻工藝。它能夠在高溫下以高速度和精確度蝕刻各種材料。