二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236836 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC是一種為半導體工業等離子體處理應用而設計的蝕刻器/asher。它利用等離子體輔助蝕刻和濕式化學清潔工藝相結合，在基板上創造清潔和精確的特征。該設備專為實現高水平的可重復性和準確性而設計，同時為廣泛的流程開發和優化提供了平臺。TEL TE 5000ATC是一種雙腔室系統，可以使用獨立的工藝參數和設置同時處理多達兩個基板。主室配有旋轉級、終效夾具、目標控制和等離子體電源，以及用於產生針對基板表面的電離溶液的各種氣體。二級室設有裝卸站、旋轉臺及溶液供應線。在進入主腔室進行蝕刻過程之前，先在二級腔室中預先清洗基板。TOKYO ELECTRON TE 5000ATC提供高度的過程控制，具有廣泛的氣體輸送、壓力、溫度和安全系統。使用觸摸屏控制面板可以在本地和遠程調整等離子工藝參數。該單元配有內置晶片邊緣檢測機，可容納包括矽、III-V化合物在內的一系列基材。各種蝕刻工藝都是可能的，包括幹蝕刻、定向蝕刻和均勻蝕刻，以及三維各向異性蝕刻。TE 5000ATC與其他工業自動化系統的接口以簡化生產,並已設計為確保安全至上。它采用節能的等離子體生成工具，降低能耗，完全符合最新的環境法規。總而言之，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC是為半導體工業等離子體處理應用而設計的先進蝕刻器/asher。它結合了等離子體輔助蝕刻和濕式化學清洗工藝，提供了高精度、重復性和控制性，並促進了工藝開發和優化。設計時對人員、環境和底物都有極大的安全考慮。