二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236837 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一種最先進的蝕刻器/asher，旨在提供精確、可重復的工藝條件。它具有帶有三軸平移級的工藝室,旨在為各種蝕刻和剝離應用提供高精度的結果。自動控制設備提供了良好的過程重復性，同時提供可靠和可重復的結果。該蝕刻器/灰化器具有真空系統，經過優化，可提供快速的腔室疏散、空氣流入和顆粒清除。先進的壓力控制裝置可確保整個蝕刻過程中的精確和可重復的壓力條件。這款蝕刻器/asher配備了1000 W RF電源，允許各種應用在廣泛的頻率範圍內運行。多位置基板加熱器在整個基板上提供極好的溫度均勻性。直觀的Human Machine Interface （HMI）允許方便的機器配置和數據記錄。此蝕刻器/asher與眾多選項兼容,包括濕顯影系統、原位端點檢測器、原位拾荒器、原位背面晶片清潔器等。TEL TE 5000 ATC除了易於使用和高度可配置外，還考慮到安全性，附帶集成安全系統，如真空互鎖、潛在爆炸性大氣傳感器、負載鎖安全互鎖等。還包括一系列射頻監測系統，如等離子體監測模塊，在蝕刻或剝離過程中監測射頻功率和相應基板處理參數。射頻功率和過程均勻性的提高也有助於進一步提高過程的重復性。總體而言,TOKYO ELECTRON TE 5000ATC是一款功能極其強大的蝕刻器/asher,旨在提供可重復和可靠的結果,是各種應用的理想解決方案。它的高級功能有助於確保可重復性和可靠性,同時提供出色的流程一致性和監控功能。