二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 LEC #293747705 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 LEC是一種用於加工半導體的蝕刻器/asher。它是一種可靠且易於使用的工具，用於多種基材材料，包括矽、氮化移銨和碳化物。它旨在提供高水平的蝕刻均勻性和可靠性，非常適合生產高質量的半導體器件。TEL TE 5000 LEC利用許多高級功能優化蝕刻工藝。它配備了高度精確的光傳感控制設備，對等離子體能級、壓力等參數進行監控和調整，以確保最佳蝕刻均勻性。此外，該系統還有一個獲得專利的晶圓均勻性監視器，該監視器不斷監測設備和基板的溫度，並調整工藝變量，以保持所需的蝕刻速率和均勻性。該機還配備了工藝優化和故障檢測的先進算法。TOKYO ELECTRON TE 5000 LEC利用高真空技術保證了可重復、均勻的蝕刻工藝。該工具設計用於支持各種基材材料，包括矽、氮化氙和用於蝕刻工藝的碳化物。此外,資產還配備了可存儲多達24種配方的可編程內存,從而可以輕松快速地從蝕刻一種材料切換到另一種材料。該模型還包括一個全面的過程監控設備，允許操作員跟蹤所有過程參數並實時調整。此特性允許過程條件的快速變化以及蝕刻速率和均勻性的優化。該系統還包括一個自動清潔和預防性維護單元，以確保最佳性能，幫助降低維護成本和最大限度地提高機器正常運行時間。TE 5000 LEC的先進設計和特點使其成為生產高質量半導體器件的理想工具。它可靠、易於使用，並配有先進的功能，以最大限度地提高蝕刻速率、均勻性和工藝穩定性。它是任何半導體生產環境中最完美的蝕刻工具。