二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293652771 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一種用於半導體制造和其他工業過程的蝕刻器和asher系統。該系統由工藝室、晶圓傳遞機器人、負載儲物櫃和控制器組成。工藝室是一個裝有平面化室、感應耦合等離子體（ICP）或電子束（EB）源的真空密封不銹鋼外殼，以及兩個氣體輸送系統。平面化室設計為在蝕刻圖樣邊緣提供有效的等離子體護套層，並在溝槽底部提供均勻的過度蝕刻，從而實現精確的圖樣化。ICP或EB源負責蝕刻溝槽、激活和幹蝕刻SiO2和Si3N4層。這兩個氣體輸送系統負責提供蝕刻和清潔氣體，以便進行有效的等離子體蝕刻和感測加工室內的壓力。晶圓傳遞機器人負責將晶圓在工藝室內和工藝室與負載鎖之間傳輸。機器人配有凸起對準器，對準嵌入腔室地板的晶片和軌道，用於定位機器人手臂。機器人由機器人控制器和軟件控制，確保晶圓以安全可靠的方式傳輸。載荷導管用於牢固地固定晶片，同時將其插入和移入加工室。載荷犬有內置的微探針和真空感應控制，以確保晶圓的正確定位。控制器負責控制整個系統的操作。控制器由主板、用戶界面板、顯示板和通信界面板組成。它監測和調節過程，包括氣體流動、功率水平、溫度和壓力，以及晶圓的運動。必須密切監測所有參數，以確保這一進程取得成功。與手動工藝相比,TEL TE5000提供了卓越的蝕刻和灰化性能,提高了生產效率和產量。