二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293747707 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款先進的蝕刻/灰化設備,提供一流的性能和生產力。這種半自動系統設計用於各種基板的經濟高效和可靠的加工，包括金屬、絕緣體矽（SOI）基板和其他材料。通過使用強大的SCS（基板調節裝置）技術，其運動控制機提供優越的基板管理，大大減少了蝕刻前表面準備所需的時間。這種高端蝕刻平臺也可用於加工尺寸較小的基板。TEL TE5000的設計目的是為各種基板上復雜、精細的特征提供高質量的蝕刻效果。它具有多軸高速X、Y、Z掃描級，允許更快、更精確的基板移動。該工具還包括高精度激光幹涉儀，有效補償熱膨脹和其他幹擾。它的閉環反饋確保了大型基板尺寸的高蝕刻一致性，使蝕刻過程具有卓越的重復性和可靠性。資產還包括一個集成的先進大氣等離子體源，它優化並控制了蝕刻過程的等離子體平衡、壓力和溫度。該模型具有高效的抗蝕劑去除設備，為可靠、均勻的抗蝕劑去除提供了增強的軟烘烤工藝。TOKYO ELECTRON TE-5000的蝕刻速度通過其先進的RF-ETP（RF增強-通量工藝）技術進一步提高。這一創新工藝減少了蝕刻所需的時間，同時提高了蝕刻精度。TOKYO ELECTRON TE5000的高效運行和易於維護，使其適用於惡劣生產環境中的手動和自動化系統集成。這種低成本、高性能的蝕刻裝置提供了卓越的成本節約和無與倫比的性能。由於其卓越的蝕刻能力,TEL TE 5000被推薦用於當今技術要求最高的應用程序。