二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293758430 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一種用於多種工藝的蝕刻器/asher。它是一種多站工具，可用於光刻去除、金屬蝕刻和薄膜沈積。它專為多種應用而設計,能夠處理低批量和大批量生產需求。TEL TE5000配備了數字控制板，為用戶提供精確的控制和準確的結果。該工具還配備了車載診斷設備，使維護和故障排除更加容易。TOKYO ELECTRON TE-5000具有機械式XYZ運動階段,載荷容量可達200磅,可調節高度,X、Y和Z軸的運動範圍可達45度。該系統還具有廣泛的外圍設備，如可編程控制器、多頭、視覺系統、機器人手臂和氣體混合面板。這允許用戶自定義設備以滿足其獨特的要求。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000還具有耐用的不銹鋼結構，設計可承受多種用戶條件，包括-30C到+60 C的可變溫度範圍、20-90%的可變相對濕度範圍以及5-10.3 bar的可變壓力範圍。該機器可容納直徑不超過8英寸（200毫米）的晶片,並且設計為與各種反應室和刀具配置兼容。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000還提供了高達+160 C的可調溫度範圍、可調加壓氣體通道以及保護精細工藝材料免受熱損傷的高溫安全系統。該工具還提供了一個集成視覺工具，允許用戶檢查工件表面特征，使他們能夠快速調整蝕刻或沈積過程，以確保質量結果。除了TEL TE-5000的功能外，它還兼容了各種各樣的半自動和自動加載系統，使其成為低批量和大批量生產的理想解決方案。該資產與多種材料兼容，包括光刻膠、矽、藍寶石等材料，使其成為多種應用的通用工具。總體而言,TE 5000是一款可靠高效的蝕刻器/asher,旨在處理各種過程。它是一個多站工具，具有廣泛的功能和外圍設備，允許用戶定制模型以滿足他們的特定需求。TOKYO ELECTRON TE5000提供精確的工藝控制，溫度範圍廣，可靠性高，生產效率高，是蝕刻沈積工藝的絕佳選擇。