二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293772672 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是半導體工業的最先進的蝕刻器/asher。這種設備的設計能夠提供極好的準確性和可靠性，即使在通過困難的材料進行加工時也是如此。該系統具有高精度蝕刻/灰化能力，以及精密切割、鉆孔和焊接應用。內置溫度傳感器能夠以極好的精度實現自動溫度控制。TEL TE5000可以同時執行蝕刻和灰化過程,這是半導體生產中必不可少的過程。該單元還具有一個用戶友好的圖形操作員界面，提供對過程參數的完全控制，以及一個統一的軟件包，用於導入、修改和導出程序數據，用於蝕刻和灰化過程。TOKYO ELECTRON TE-5000包括一個堅固的真空冷卻室,用於有效的蝕刻和灰化過程.該腔室有助於確保每一層的圖案均勻，並最大限度地減少對基板的加熱效果。此外，該腔室還配備了延遲滯後壓縮機和過濾器，以確保清潔和穩定的環境。該機具有高分辨率的6軸機械臂，用於加工材料的運動。這種機械臂提供了快速、準確和可重復的運動，產生了優越的層分辨率和優越的過程重復性。使用者也可以在過程中控制材料的流量。此外,TE 5000還配備了各種監測系統、數據記錄系統、輸入/輸出設備以及用於蝕刻和灰化過程的控制系統。它還具有一個大容量的腔室儲罐，用於儲存工藝材料，以防止汙染。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000在每個周期前都經過全面校準和測試，設計為質量和性能超過客戶規格和行業標準。該工具為半導體行業的各種應用提供了更高的準確性和可靠性。